이 캐리어는 어떤 크기의 웨이퍼를 수용하나요?

12인치(300mm) 직경의 반도체 웨이퍼 전용으로 설계되었습니다.

웨이퍼는 최대 몇 매까지 보관 가능한가요?

총 25개의 웨이퍼를 10mm 간격으로 안전하게 수용할 수 있습니다.

자동화 공정 장비와 연동이 가능한가요?

네, SEMI 및 FIMS 표준 규격을 준수하여 제작되었으므로 자동화된 공정 라인과 완벽하게 호환됩니다.

E-pak

12인치 웨이퍼 프로세스 케리어

FOUP, 12inch Process Carrier, 25 slots

가격 (VAT별도)

3,671,900원

브랜드 EPAK

타입 Front Opening Unified Pod (FOUP)

웨이퍼 크기 12 inch (300mm)

수용 수량 25매

FOUP웨이퍼캐리어300mm반도체공정Wafer HandlingEPAK

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상품 설명

12인치 FOUP(Front Opening Unified Pod)는 300mm 반도체 웨이퍼를 공정 장비 간에 안전하게 이송하고 보관하기 위한 표준 캐리어입니다. SEMI 및 FIMS 규격을 완벽하게 준수하여 자동화 공정 라인에 원활하게 적용됩니다. 이 캐리어는 25개의 웨이퍼를 10mm 간격으로 수용하며, 강력한 고정 메커니즘으로 이송 중 발생하는 진동과 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고 입자 생성을 최소화합니다. 초순수, 저배출가스 및 ESD 처리된 재질을 사용하여 웨이퍼 오염을 방지합니다. 또한 도어를 분해하지 않고도 세척이 가능하여 유지보수가 매우 용이합니다.

핵심 특징

12인치 FOUP 표준

300mm 웨이퍼 25매를 수용하는 업계 표준 프로세스 캐리어입니다.

SEMI 규격 준수

SEMI 및 FIMS 표준을 준수하여 자동화 공정 장비와 완벽하게 호환됩니다.

웨이퍼 오염 방지

저배출가스 재질 및 ESD 처리된 소재로 웨이퍼를 외부 오염으로부터 보호합니다.

진동 및 충격 보호

강력한 웨이퍼 고정 설계로 이송 과정의 충격을 흡수하고 입자 발생을 줄입니다.

손쉬운 유지보수

캐리어 도어를 분해할 필요 없이 간편하게 내부 세척이 가능합니다.

기술 사양

브랜드: EPAK
타입: Front Opening Unified Pod (FOUP)
웨이퍼 크기: 12 inch (300mm)
수용 수량: 25매
웨이퍼 간격: 10mm (±0.5mm)
규격: SEMI / FIMS Compliant
빈 상태 무게: 4.6 kg
적재 시 무게: 약 7.8 kg

상세 규격표

상세 규격 표

카탈로그넘버	Model	Description	Wafer
DAU-WWAFEFIS-P001E1	L12-FOUP	Process Carrier (FOUP)	12 inch

상세 규격 표

카탈로그넘버		DAU-WWAFEFIS-P001E1
Model		L12-FOUP
Carrier Type		Front Opening Unified Pod (FOUP)
Wafer Size		12 inch (300mm)
Wafer Capacity		25
Wafer Spacing		10mm (±0.5mm Positional tolerance wafer to wafer, non-cumulative)
Weight		4.6 kg (Empty) / about 7.8 kg (Full Loaded)
Size	Included Handler & Robotic Flange	w420×d342×h338 mm
Size	Excluded Handler & Robotic Flange	w388×d342×h332 mm