PTFE 웨이퍼 클리닝 킷의 주요 용도는 무엇인가요?

반도체 웨이퍼와 포토마스크의 에칭 및 세정 작업에 사용됩니다. PTFE 테프론 재질로 강산·강알칼리 용액에도 안전하며, 8개 Slot에 시료를 동시에 장착하여 효율적인 세정이 가능합니다.

어떤 크기의 웨이퍼를 사용할 수 있나요?

4인치 웨이퍼용(120×55×80mm, 총 200mm)과 6인치 웨이퍼용(180×55×95mm) 두 가지 크기가 제공됩니다. 시료 두께는 1.0mm 이하이며, Slot 간격은 1mm로 설계되어 있습니다.

PTFE 재질의 특징은 무엇인가요?

PTFE 테프론은 내열 온도 280℃, 내산성 및 내약품성이 우수하여 HF, HNO₃, H₂SO₄ 등 강산 및 강알칼리 용액 세정에 안전하게 사용할 수 있습니다. Carrier는 분해 조립이 용이하여 세척 후 유지보수가 편리합니다.

테프론 마스크 & 웨이퍼 클리닝 킷, PTFE

PTFE Mask and Wafer Cleaning Kit

가격 (VAT별도)

289,200원 ~ 337,400원

재질 PTFE 테프론

Slot 수 8

Slot 간격 1 mm

시료 두께 1.0 mm 이하

웨이퍼반도체세정에칭PTFE포토마스크클린룸

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상품 설명

PTFE Mask and Wafer Cleaning Kit는 반도체 웨이퍼와 포토마스크의 에칭 및 세정 작업에 최적화된 전용 클리닝 킷입니다. PTFE 테프론 재질로 제작되어 내열 온도 280℃, 내산성 및 내약품성이 우수하여 강산·강알칼리 환경에서도 안전하게 사용할 수 있습니다. 8개의 Slot을 갖춘 구조로, 시료 두께 1.0mm 이하의 웨이퍼와 마스크를 동시에 세정할 수 있습니다. Slot 간격은 1mm로 설계되어 시료 간 간섭 없이 효율적인 세정이 가능하며, Carrier는 분해 조립이 용이하도록 설계되어 세척 후 관리가 편리합니다. 4인치 웨이퍼용(120×55×80mm)과 6인치 웨이퍼용(180×55×95mm) 두 가지 크기가 제공되어 실험실 및 생산 라인에서 다양한 규격의 웨이퍼 및 마스크 세정 작업에 활용됩니다.

핵심 특징

PTFE 재질

내열 280℃, 내산·내약품성 우수

8 Slot 구조

시료 두께 1mm 이하 동시 세정 가능

분해 조립

Carrier 세척 시 분해 조립 용이

두 가지 크기

4인치 및 6인치 웨이퍼용 제공

국내 제조

(주)토미헤코 한국산 제품

기술 사양

재질: PTFE 테프론
Slot 수: 8
Slot 간격: 1 mm
시료 두께: 1.0 mm 이하
내열 온도: 280℃
4인치 크기: w120×d55×h80mm (총 200mm)
6인치 크기: w180×d55×h95mm

상세 규격표

카탈로그넘버	Model	Carrier Size	Slot수
DAU-WWAFEPMA-P001E1	L0408-PPS	w120×d55×h80mm	8

카탈로그넘버	Model	Carrier Size	Slot수
DAU-WWAFEPMA-P002E1	L0608-PPS	w180×d55×h95mm	8

주문 옵션

2개

카탈로그넘버	모델	설명	단위	단가(VAT별도)	재고	수량	주문
	L0408-PPS	4” Wafer / Mask Cleaning Kit 120×55×80mm,total200mm 8Slot	1/EA	289,200원	9	1
	L0608-PPS	6” Wafer / Mask Cleaning Kit w180×d55×h95mm 8Slot	1/EA	337,400원	7	1