XDS 건식 스크롤 펌프, Edwards

Edwards 건식 스크롤 펌프 시리즈는 베어링 쉴드 기술을 적용하여 공정 가스와 베어링 윤활유를 완벽하게 분리하는 고성능 장비입니다. 이를 통해 베어링의 내구성을 극대화하고, 공정 가스로부터의 윤활유 오염 가능성을 원천적으로 차단하여 청정 진공 환경을 보장합니다. 스마트 모터 드라이브를 통해 일관된 성능을 유지하고 펌프 과부하를 방지하며, 원격 제어 기능을 지원하여 사용 편의성을 높였습니다. 부식 방지 강화 모델은 내화학성이 뛰어난 내부 밸브와 스테인리스 스틸 피팅을 적용하여 가혹한 화학 공정에서도 안정적인 운용이 가능합니다. 또한 고효율 모델은 낮은 소비 전력으로도 높은 배기 속도를 제공하여 대용량 시스템에 최적화되어 있습니다.

최대 펌핑 속도

35 ~ 40 ㎥/h

도달 진공도

0.01 ~ 0.05 mbar

가스 밸러스트 1 적용 시 도달 진공도

0.02 ~ 0.08 mbar

가스 밸러스트 2 적용 시 도달 진공도

< 10 mbar

수증기 최대 유입 압력

35 ~ 40 mbar

수증기 처리 용량

240 g/h

최대 연속 흡입 압력

40 ~ 1000 mbar

최대 가스 밸러스트 및 퍼지 압력

0.5 bar gauge