펌프 모델에 따라 어떤 오일을 선택해야 하나요?

E2M0.7 또는 E2M1.5 모델에는 Ultragrade 15-4를 사용하며, RV 시리즈나 E2M18, E2M28 모델에는 Ultragrade 19-4가 적합합니다.

불소계 오일(PFPE)은 어떤 경우에 사용하나요?

일반 오일이 산화되거나 변질되기 쉬운 부식성 가스 사용 공정, 고온 공정, 혹은 산소 농도가 높은 환경에서 펌프를 안전하게 보호하기 위해 Fomblin 또는 Krytox 제품을 사용합니다.

오일의 열 안정성은 어느 정도인가요?

제시된 제품군 모두 자동 발화점이 355℃로 매우 높으며, 일반 진공용 제품의 경우 인화점이 220℃ 이상으로 설계되어 열적 변형에 매우 강합니다.

Edwards

진공펌프 오일

Vacuum Pump Oil

가격 (VAT별도)

199,900원 ~ 2,153,600원

공통 자동 발화점 355℃

용량 Ultragrade 15-4: 4 L / Ultragrade 19-4: 4 L / Fomblin 06/6: 1 kg (532 ml) / 5 kg / Krytox 1506: 1 kg (532 ml)

증기압 Ultragrade 15-4: 5.8×10⁻⁶ mbar (20℃) / 3.0×10⁻² mbar (100℃) / Ultragrade 19-4: 1×10⁻⁸ mbar (20℃) / 1.0×10⁻³ mbar (100℃) / Fomblin 06/6: 4×10⁻⁶ mbar (20℃) / Krytox 1506: 5.2×10⁻⁷ mbar (20℃)

비중 Ultragrade 15-4: 0.86 (15℃) / Fomblin 06/6: 1.88 (15℃)

진공펌프Edwards진공오일실험실소모품반도체공정유지보수

주문 후 2~5일 이내 배송 (재고 보유 상품에 한함)

정품 인증 제품

퀵배송 가능

상품 설명

Edwards 진공펌프 오일은 E2M 및 RV 시리즈 진공펌프의 성능을 최적화하고 수명을 연장하기 위해 개발된 전용 윤활유입니다. 일반적인 진공 환경을 위한 Ultragrade 시리즈와 반도체 공정 등 가혹한 화학 환경에 적합한 불소계(PFPE) 오일인 Fomblin, Krytox 제품군으로 구성되어 있습니다. 매우 낮은 증기압을 유지하여 우수한 도달 진공도를 보장하며, 높은 인화점과 자동 발화점을 갖추어 열적 안정성이 뛰어납니다.

핵심 특징

진공 성능 최적화

낮은 증기압으로 안정적인 도달 진공도 유지 및 펌프 효율 극대화

우수한 안정성

높은 인화점과 자동 발화점으로 열 및 산화에 대한 저항성 탁월

공정별 맞춤 선택

일반 진공부터 부식성 가스가 발생하는 특수 공정까지 폭넓은 제품 라인업

내화학성 강화

PFPE 및 Krytox 제품 사용 시 부식 및 화학적 열화 최소화

장비 수명 연장

효과적인 윤활 및 냉각 작용으로 펌프 내부 마모 방지

기술 사양

공통 자동 발화점: 355℃
용량: Ultragrade 15-4: 4 L / Ultragrade 19-4: 4 L / Fomblin 06/6: 1 kg (532 ml) / 5 kg / Krytox 1506: 1 kg (532 ml)
증기압: Ultragrade 15-4: 5.8×10⁻⁶ mbar (20℃) / 3.0×10⁻² mbar (100℃) / Ultragrade 19-4: 1×10⁻⁸ mbar (20℃) / 1.0×10⁻³ mbar (100℃) / Fomblin 06/6: 4×10⁻⁶ mbar (20℃) / Krytox 1506: 5.2×10⁻⁷ mbar (20℃)
비중: Ultragrade 15-4: 0.86 (15℃) / Fomblin 06/6: 1.88 (15℃)
점도: Ultragrade 15-4: 104.2 cST (20℃) / 38.1 cST (40℃) / Ultragrade 19-4: 143.7 cST (20℃) / 48.6 cST (40℃)
인화점: Ultragrade 15-4: 220℃ / Ultragrade 19-4: 230℃

상세 규격표

카탈로그넘버	Model	용량	사용펌프
DAU-OOILXVAA-P001E1	Ultragrade15-4	4 L	for E2M0.7, E2M1.5
DAU-OOILXVAA-P002E1	Ultragrade19-4	4 L	for RV, E2M18 & 28

카탈로그넘버			DAU-OOILXVAA-P001E1	DAU-OOILXVAA-P002E1
Model			Ultragrade15-4	Ultragrade19-4
Technical Data	Vapor Pressure (mbar)	at 20℃	5.8×10^-6	1×10^-8
	Vapor Pressure (mbar)	at 100℃	3.0×10^-2	1.0×10^-3
	Molecular Weight		385	420
	Specific Gravity at 15℃		0.86
	Viscosity cST	at 20℃	104.2	143.7
	Viscosity cST	at 40℃	38.1	48.6
	Pour Point ℃		-18	-16
	Flash Point ℃		220	230
	Auto Ignition Point ℃		355
	Sulphur Content % mass/mass		0
Application	Energetic Particle Impact		Conducting Polymers formed
	Thermal Stability		Good
	Oxidation Resistance		Good
	Chemical Resistance		Fair
	Radiation Resistance		Fair

카탈로그넘버	Model	용 량	사용 펌프
DAU-OOILXVAA-P003E1	H11301019	1 kg (532 ml)	PFPE
DAU-OOILXVAA-P004E1	H11301020	5 kg	PFPE

카탈로그넘버	Model	용 량	사용 펌프
DAU-OOILXVAA-P005E1	H11301018	1 kg (532 ml)	PFPE

Type			Fombin^® 06/6	Krytox^® 1506
Technical Data	Vapor Pressure (mbar)	at 20℃	4×10^-6	5.2×10^-7
	Vapor Pressure (mbar)	at 100℃	5×10^-3	1.3×10^-3
	Molecular Weight		1900	2400
	Specific Gravity at 15℃		1.88
	Viscosity cST	at 20℃	64	70
	Viscosity cST	at 40℃	25	22
	Pour Point ℃		-50	-45
	Flash Point ℃		None
	Auto Ignition Point ℃		355
	Sulphur Content % mass/mass		0
Application	Energetic Particle Impact		No Polymers formed
	Thermal Stability		Excellent
	Oxidation Resistance		Excellent
	Chemical Resistance		Excellent
	Radiation Resistance		Good

주문 옵션

5개

모델	설명	단위	단가(VAT별도)	재고	수량
Ultragrade15-4	Vacuum Pump Oil 4L Edward	1/EA	199,900원	24	1
Ultragrade19-4	Vacuum Pump Oil 4L Edward	1/EA	199,900원	45	1
H11301019	Vacuum Pump Oil Fomblinⓡ YVAC 06/6 1 kg (532 ML)	1/EA	691,800원	60 Day	1
H11307018	Vacuum Pump Oil Krytoxⓡ 1506 1 kg (532 ML)	1/EA	2,108,500원	60 Day	1
H11301020	Vacuum Pump Oil Fomblinⓡ YVAC 06/6 5 kg	1/EA	2,153,600원	7 Day	1